深圳新聞網2025年11月13日訊（記者 胡津瑋）11月12日，全國產業(yè)計量融合創(chuàng)新發(fā)展會議在湖南衡陽召開。會議現場發(fā)布了市場監(jiān)管總局和工信部聯合開展的“計量支撐產業(yè)新質生產力發(fā)展2025年度十大重點項目”，深圳檢測院牽頭承擔的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”入選十大重點項目之一。

瞄準“卡脖子”難題 攻堅納米級精密檢測

高端芯片與集成電路產業(yè)是國民經濟和社會發(fā)展的基礎性、先導性、戰(zhàn)略性產業(yè)。隨著先進封裝技術發(fā)展，納米級工業(yè)CT成為產品質量保障的關鍵檢測裝備。當前，國內相關裝備高度依賴進口，國產化裝備空白導致產業(yè)面臨“卡脖子”風險。

深圳檢測院承擔的“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”項目，在自主研發(fā)的“平面掃描成像工業(yè)CT設備”基礎上推進。現有設備可在數秒內實現芯片封裝、電路板等產品內部三維結構的快速重建與缺陷識別，最高分辨率達1微米，目前該設備已在多家企業(yè)與科研機構投入應用。為進一步滿足高端芯片微納結構檢測需求，服務我國高端集成電路與先進封裝產業(yè)，深圳檢測院積極推進“納米級工業(yè)CT檢測裝置研制”。項目將引入AI技術，突破納米級分辨力成像、全自動缺陷識別與智能分析及控制軟件等關鍵技術，研制形成百納米級高分辨工業(yè)CT檢測裝置，同時建立配套計量檢測技術標準及規(guī)范，形成從核心裝備到系統解決方案的全鏈條支撐能力。

全力推進研制 服務新質生產力

此次項目入選，標志著深圳檢測院在高端計量裝備領域的研發(fā)能力獲國家認可。下一步，深圳市市場監(jiān)督管理局將指導深圳檢測院加快項目實施，推動裝備工程化與產業(yè)化應用，持續(xù)強化計量檢測對科技創(chuàng)新和產業(yè)升級的基礎支撐與戰(zhàn)略引領，為提升國產高端裝備自主創(chuàng)新能力、培育產業(yè)新質生產力注入強勁動能，以實際行動服務國家戰(zhàn)略，助力經濟社會高質量發(fā)展。